特別講義「プラズマ材料工学」

●11月16日（月）14：30～16：00　場所：電気電子工学科棟1階　105 教室 【テーマ】：プラズマ材料工学 （Ⅰ）プラズマプロセス技術と薄膜電子材料への応用 （Ⅱ） 薄膜電子材料の創製 【内　容】： プラズマプロセス技術として、プラズマを用いたエッチングについて、基礎的な原理から応用まで具体的な事例を元に講義する。 また、薄膜電子材料の創製としてプラズマを用いた様々な材料の成膜についても解説する。 ●11月17日（火）10：20～11：50　場所：電気電子工学科棟1階　105 教室 【テーマ】：プラズマ材料工学 （Ⅲ）プラズマ技術の半導体製造プロセスへの応用 （Ⅳ）プラズマ技術の有機・高分子材料への応用と知財戦略 【内 容】： ビジネス的観点から、光エレクトロニクス（LED、LD）、電子部品（パワーデバイス、MEMS）、LSI（TSV）などの半導体プロセスや、プラズマ重合、DLCコーティングなどの有機・高分子材料へのプラズマ技術の応用展開について、具体的な事例を元に講義する。 最後に特許出願からみたプラズマ材料科学の展開について解説を行う。 ポスター